AbstractsPhysics

Nepřesnosti při výrobě a sestavení rotačně souměrné čočky a deflektrou a jejich přesného zařazení do elektronově optického systému se projeví jako dodatečné pole příslušné symetrie, které deformuje ideální zobrazení. Tato dodatečná pole dokážeme spočítat pomocí metody konečných prvků v programu EOD. Toleranční analýza spočívá ve stanovení požadavků na rozměry a sestavení jednotlivých prvků a jejich částí. Korekce vad seřízení pak spočívá v určení typu a polohy korekčních vychylovacích cívek a multipólů tak, aby se tyto dodatečné vady odstranily, nebo aby se minimalizoval jejich vliv. Cílem disertační práce je analýza projevů vad seřízení a chování neseřízených systémů prozařovacích elektronových mikroskopů.; Inaccuracies in the production and assembling of rotationally symmetric lenses and deflectors and their accurate positioning in the electron optical system can be treated as an additional field with specific type of symmetry. The additional fields can be evaluated with the help of the finite element method in the program EOD. Tolerance analysis allows evaluation of the requirements on the dimensions and position of individual elements and their parts. Elimination of misalignment aberrations consists in determining the type and position of correcting deflection coils and multipoles so that these additional aberrations are removed or their effect is minimized. The aim of the dissertation is the analysis of the effect of misalignment aberrations and behavior of misaligned systems of transmission electron microscopes.