Příprava a použití exfoliovaných grafitových/grafenových vrstev v oblasti nanosenzoriky
Institution: | Brno University of Technology |
---|---|
Department: | |
Year: | 0 |
Keywords: | grafen; AFM; EBL; SEM; grafit; litografie; čtyrbodová metoda; V-A meření; graphene; AFM; EBL; SEM; grafit; lithography; four point probe method; V-A measurement |
Record ID: | 1097652 |
Full text PDF: | http://hdl.handle.net/11012/34461 |
Tato diplomová práce se věnuje výrobě vrstev grafitu/grafenu a meření jejich transportních vlastností v závislosti na relativní vlhkosti. Grafenové šupinky byly nanášeny pomocí mechanického odlupování . Pro kontaktování grafenových šupinek byla využita elektronová litografie a na pozorování byly využity optická mikroskopie, mikroskopie atomárních sil a elektronová mikroskopie. V práci jsou popsány jednotlivé kroky výroby, analýzy a měření transportních vlastností nanesených grafenových šupinek.; This diploma thesis deals with the fabrication of graphite/graphene layers and measurement of their transport properties as a function of relative humidity. Graphene flakes were deposited by mechanical exfoliation. For contacting the graphene flakes the electron beam lithography was used. Additional characterization was performed by optical microscopy, atomic force microscopy and scanning electron microscopy. The thesis describes the steps for the production, observation and characterization of the deposited graphene flakes